Comptes rendus des travaux

auteurs :Colloque international sur les plasmas et la pulvérisation cathodique (06 ; 1987 ; Antibes, Alpes-Maritimes), Symposium international sur la gravure sèche et le dépôt plasma en microélectronique (05 ; 1987 ; Antibes, Alpes-Maritimes)

éditeur intellectuel :Société française du vide. Comité Couches minces, matériaux et technologies pour l'électronique

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Genre :Actes de congrès

Sujets :Dépôt chimique en phase vapeur · Gravure par plasma · Microélectronique · Projection au plasma · Pulvérisation cathodique -- Applications industrielles

Première parution: 1987
Éditeur: SFV
Paris
Pages: 280
Éditions: 1
Langue: Français

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Édition

	Année	Éditeur	ISBN	Pages	Ville	Occasion	Librairie	Notice
	1987	SFV	—	280	Paris	Vinted

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