Symposium international sur la gravure sèche et le dépôt plasma en microélectronique (05 ; 1987 ; Antibes, Alpes-Maritimes) — 1 œuvres

Symposium international sur la gravure sèche et le dépôt plasma en microélectronique (05 ; 1987 ; Antibes, Alpes-Maritimes)

Œuvres1

Total pages280médiane 280 p.

Période d'activité1987

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Bibliographie (1)

Année	Titre	Éditeur	Pages
1987	Comptes rendus des travaux	SFV	280