# Structures électriques de contrôle de l'alignement dans les procédés de fabrication des circuits intégrés : application à la qualification d'équipement de lithographie avancée

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- **Auteur** : [Agnès Lasne](https://superlivre.fr/auteur/agnes-lasne-cb12376729h)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |