# Secondes Journées d'études sur la gravure sèche en microélectronique : 22 au 24 novembre 1983... Grenoble

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- **Auteur** : [Journées d'études sur la gravure sèche en microélectronique (02 ; 1983 ; Grenoble)](https://superlivre.fr/auteur/journees-detudes-sur-la-gravure-seche-en-microelectronique-02-1983-grenoble-cb118703019)
- **éditeur intellectuel** : [Société française du vide](https://superlivre.fr/auteur/societe-francaise-du-vide-cb140364764)
- **Première parution** : 1983
- **Langue** : français
- **Genres** : [Actes de congrès](https://superlivre.fr/genre/actes-de-congres-cb120611486), [Gravure par plasma](https://superlivre.fr/genre/gravure-par-plasma-cb121106412), [Microélectronique](https://superlivre.fr/genre/microelectronique-cb11940133x)
- **Éditions recensées** : 1 (1983–1983)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1983 | [Société française du vide](https://superlivre.fr/editeur/societe-francaise-du-vide) | Paris | 270 |  |
