Secondes Journées d'études sur la gravure sèche en microélectronique
22 au 24 novembre 1983... Grenoble
éditeur intellectuel :Société française du vide
Genre :Actes de congrès
Sujets :Gravure par plasma · Microélectronique
- Première parution
- 1983
- Éditeur
- Société française du videParis
- Pages
- 270
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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Édition
| Année | Éditeur | ISBN | Pages | Ville | Occasion | Notice | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1983 | Société française du vide | — | 270 | Paris | Vinted | BNF → |