# Résines photosensibles pour microlithographie développables par plasma oxygène : étude et mise au point

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/resines-photosensibles-pour-microlithographie-developpables-par-plasma-oxygene-cb37599515n (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Olivier Maurin](https://superlivre.fr/auteur/olivier-maurin-cb122588139)
- **Première parution** : 1986
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1986–1986)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1986 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |