# Réalisation de dépôt de nitrure de silicium dans une enceinte de CVD assistée par plasma de décharge continue, étude de la phase gazeuse, tentative de corrélation entre les caractéristiques du plasma et les propriétés des couches déposées

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/realisation-de-depot-de-nitrure-de-silicium-dans-une-enceinte-de-cvd-assistee-pa-cb37613256g (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Dominique Duchesne](https://superlivre.fr/auteur/dominique-duchesne-cb12453856q)
- **Première parution** : 1988
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1988–1988)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |