# Réalisation de couches minces de nitrure de silicium et d'oxyde de silicium nitruré par plasma réactif d'ammoniac en vue d'applications pour les technologies de circuits intégrés submicroniques

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/realisation-de-couches-minces-de-nitrure-de-silicium-et-doxyde-de-silicium-nitru-cb376123764 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [José Camargo Da Costa](https://superlivre.fr/auteur/jose-camargo-da-costa-cb12442721b)
- **Première parution** : 1988
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1988–1988)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |