Physico-chimie d'un plasma multipolaire de silane et processus de déposition de silicium amorphe hydrogéné
auteur :Jérôme Perrin
- Première parution
- 1983
- Éditeur
- Inconnu
- Pages
- 304
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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Édition
| Année | Éditeur | ISBN | Pages | Ville | Occasion | Notice | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1983 | — | — | 304 | — | — | BNF → |