# Passivation de InP par sulfuration plasma HF pour la formation de l'isolant de grille d'un transistor MISFET

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- **Auteur** : [Michel Gendry](https://superlivre.fr/auteur/michel-gendry-cb12353787j)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |