# Mise au point et optimisation d'un équipement industriel de dépôts chimiques en phase vapeur actives par plasma (PACVD)

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/mise-au-point-et-optimisation-dun-equipement-industriel-de-depots-chimiques-en-p-cb376070095 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Olivier Laparra](https://superlivre.fr/auteur/olivier-laparra-cb123764379)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |