# Mécanismes d'oxydation des films Si-LPCVD fortement dopés au bore

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- **Auteur** : [Messaoud Boukezzata](https://superlivre.fr/auteur/messaoud-boukezzata-cb124404947)
- **Première parution** : 1988
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1988–1988)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |