Lithographie submicronique par faisceau d'électrons à haute tension (100 KeV).
auteur :Henri Camon
- Première parution
- 1984
- Éditeur
- Inconnu
- Pages
- 107
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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Édition
| Année | Éditeur | ISBN | Pages | Ville | Occasion | Notice | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1984 | — | — | 107 | — | — | BNF → |