# Gravure ionique réactive des couches minces de tungstène et de tantale dans un plasma radiofréquence de SF : analyse du plasma et des surfaces gravées

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/gravure-ionique-reactive-des-couches-minces-de-tungstene-et-de-tantale-dans-un-p-cb376124098 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Philippe Briaud](https://superlivre.fr/auteur/philippe-briaud-cb124435707)
- **Première parution** : 1988
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1988–1988)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |