Gravure ionique réactive des couches minces de tungstène et de tantale dans un plasma radiofréquence de SF

analyse du plasma et des surfaces gravées

Première parution: 1988
Éditeur: ANRT
Grenoble 2
Pages: —
Éditions: 1
Langue: Français

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Édition

	Année	Éditeur	ISBN	Pages	Ville	Occasion	Notice
	1988	ANRT	—	—	Grenoble 2	Vinted

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