# Gravure du silicium face (100) sous SF stimulée par faisceau au laser CO et thermiquement activée

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/gravure-du-silicium-face-100-sous-sf-stimulee-par-faisceau-au-laser-co-et-thermi-cb375984394 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Michel Ismeurt](https://superlivre.fr/auteur/michel-ismeurt-cb12246672k)
- **Première parution** : 1986
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1986–1986)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1986 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |