# Excitateurs pour plasma multipolaire micro-onde : application à la réalisation d'un réacteur de gravure en microélectronique

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/excitateurs-pour-plasma-multipolaire-micro-onde-cb376047786 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Antoine Durandet](https://superlivre.fr/auteur/antoine-durandet-cb123446890)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |