# Etude physico-chimique de la nitruration superficielle de films très minces de silice : application à la stabilisation électrique de l'interface SiO/Si(100) de structures M.I.S.-V.L.S.I.

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/etude-physico-chimique-de-la-nitruration-superficielle-de-films-tres-minces-de-s-cb37609457m (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Antoine Ronda](https://superlivre.fr/auteur/antoine-ronda-cb12408924j)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |