# Etude du recuit thermique rapide des défauts d'imlantation dans le silicium : épitaxie en phase solide et guérison des imperfections résiduelles

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/etude-du-recuit-thermique-rapide-des-defauts-dimlantation-dans-le-silicium-cb376021097 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Oluseyl Adekoya](https://superlivre.fr/auteur/oluseyl-adekoya-cb12301871x)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |