# Etude du dépôt chimique de nitrure de silicium à partir d'une phase gazeuse : application à la réalisation de dépôts épais autoportants

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- **Auteur** : [Jean-François Lartigue](https://superlivre.fr/auteur/jean-francois-lartigue-cb128931418)
- **Première parution** : 1985
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1985–1985)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1985 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble |  |  |