Etude du dépôt chimique de nitrure de silicium à partir d'une phase gazeuse
application à la réalisation de dépôts épais autoportants
auteur :Jean-François Lartigue
- Première parution
- 1985
- Éditeur
- ANRTGrenoble
- Pages
- —
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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