# Étude de l'implantation d'azote dans le silicium monocristallin, en vue d'obtenir une couche de nitrure enterrée homogène et isolante.

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/etude-de-limplantation-dazote-dans-le-silicium-monocristallin-en-vue-dobtenir-un-cb36080496t (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Patrick Bourguet](https://superlivre.fr/auteur/patrick-bourguet-cb13039599n)
- **Première parution** : 1979
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1979–1979)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1979 |  |  | 147 |  |