# Etude de la modification des surfaces de silicium et d'oxyde de silicium soumises à des plasmas de trifluorométhane et d'oxygène

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- **Auteur** : [Abdeljalil Rhounna](https://superlivre.fr/auteur/abdeljalil-rhounna-cb12491245r)
- **Première parution** : 1988
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1988–1988)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |