Etude de la modification des surfaces de silicium et d'oxyde de silicium soumises à des plasmas de trifluorométhane et d'oxygène
auteur :Abdeljalil Rhounna
- Première parution
- 1988
- Éditeur
- ANRTGrenoble 2
- Pages
- —
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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