# Elaboration d'une technologie auto-alignée par gravure plasma de métaux réfractaires pour transistors à effet de champ à hétérojonction (AIGaAs/GaAs)

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/elaboration-dune-technologie-auto-alignee-par-gravure-plasma-de-metaux-refractai-cb375970102 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Francis Debrie](https://superlivre.fr/auteur/francis-debrie-cb12227976m)
- **Première parution** : 1986
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1986–1986)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1986 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |