Effets de la température de dépôt sur la microstructure et les propriétés technologiques des couches Si-LPCVD dopées bore
auteur :Farida Mansour-Bahloul
- Première parution
- 1986
- Éditeur
- ANRTGrenoble 2
- Pages
- —
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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