Diagnostics et modélisation en volume d'un plasma multipolaire d'hydrogène utilisé pour le nettoyage de surfaces d'arseniure de gallium
auteur :Daniel Jacquin
- Première parution
- 1988
- Éditeur
- ANRTGrenoble 2
- Pages
- —
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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