# Développement d'un four de recuit rapide : application à la croissance et à la nitruration de couches d'oxydes sur silicium

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/developpement-dun-four-de-recuit-rapide-cb37612393q (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Yves Caratini](https://superlivre.fr/auteur/yves-caratini-cb12443119c)
- **Première parution** : 1988
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1988–1988)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |