Développement d'un four de recuit rapide
application à la croissance et à la nitruration de couches d'oxydes sur silicium
auteur :Yves Caratini
- Première parution
- 1988
- Éditeur
- ANRTGrenoble 2
- Pages
- —
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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