# Dépôts de nitrure de silicium amorphe obtenus par C.V.D. assistée par plasma de décharge et de post-décharge dans un mélange gazeux Ar-SiH-N : corrélations entre les cinétiques réactionnelles en phase gazeuse et les caractéristiques des couches réalisées

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/depots-de-nitrure-de-silicium-amorphe-obtenus-par-c-v-d-assistee-par-plasma-de-d-cb376145180 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Jean-Louis Jauberteau](https://superlivre.fr/auteur/jean-louis-jauberteau-cb124681059)
- **Première parution** : 1988
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1988–1988)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |