# Dépôt de couches minces de tantale par pulvérisation et étude des interactions Ta/SiO et Ta/Si à basses températures

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/depot-de-couches-minces-de-tantale-par-pulverisation-et-etude-des-interactions-t-cb37605322q (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Patrick Gallais](https://superlivre.fr/auteur/patrick-gallais-cb12352482r)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |