# Couches minces de tungstène déposées par le procédé C.V.D. pour la métallisation des circuits intégrés

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/couches-minces-de-tungstene-deposees-par-le-procede-c-v-d-pour-la-metallisation--cb376043365 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Chandrasekar Dassapa](https://superlivre.fr/auteur/chandrasekar-dassapa-cb123362059)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |