# Contrôle de la croissance d'empilements ultra-minces C-W et Si-W par ellipsométrie cinétique in situ : applications aux miroirs pour X-mous

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/controle-de-la-croissance-dempilements-ultra-minces-c-w-et-si-w-par-ellipsometri-cb376030750 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Vincent Bodart](https://superlivre.fr/auteur/vincent-bodart-cb12314738r) (1962–)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |
