# Contribution à l'étude de la diffusion d'impuretés dans le silicium sous oxydation : rôle des contraintes

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- **Auteur** : [Emmanuel Scheid](https://superlivre.fr/auteur/emmanuel-scheid-cb12411583g)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |