# Conception et mise au point d'un analyseur hémisphérique en vue de spectroscopies d'électrons résolues angulairement : caractérisation d'interfaces Si/SiO et Si/SiOxNy obtenues par implantation ionique à faible énergie

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/conception-et-mise-au-point-dun-analyseur-hemispherique-en-vue-de-spectroscopies-cb376028529 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Ouahab Benkherourou](https://superlivre.fr/auteur/ouahab-benkherourou-cb123124373)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |