# Conception et caractérisation d'une décharge capacitive à 13,56 Mz utilisant une cathode à champ magnétique dynamique intégré pour la gravure sèche des microcircuits

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- **Auteur** : [Guillaume Ravel](https://superlivre.fr/auteur/guillaume-ravel-cb124052377)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |