Conception et caractérisation d'une décharge capacitive à 13,56 Mz utilisant une cathode à champ magnétique dynamique intégré pour la gravure sèche des microcircuits
auteur :Guillaume Ravel
- Première parution
- 1987
- Éditeur
- ANRTGrenoble 2
- Pages
- —
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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