# Comptes rendus des travaux

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/comptes-rendus-des-travaux-cb350311664 (données du dépôt légal BnF).

- **Auteurs** : [Colloque international sur les plasmas et la pulvérisation cathodique (06 ; 1987 ; Antibes, Alpes-Maritimes)](https://superlivre.fr/auteur/colloque-international-sur-les-plasmas-et-la-pulverisation-cathodique-06-1987-an-cb120799685), [Symposium international sur la gravure sèche et le dépôt plasma en microélectronique (05 ; 1987 ; Antibes, Alpes-Maritimes)](https://superlivre.fr/auteur/symposium-international-sur-la-gravure-seche-et-le-depot-plasma-en-microelectron-cb12122942x)
- **éditeur intellectuel** : [Société française du vide. Comité Couches minces, matériaux et technologies pour l'électronique](https://superlivre.fr/auteur/societe-francaise-du-vide-comite-couches-minces-materiaux-et-technologies-pour-l-cb120807032)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Genres** : [Actes de congrès](https://superlivre.fr/genre/actes-de-congres-cb120611486), [Dépôt chimique en phase vapeur](https://superlivre.fr/genre/depot-chimique-en-phase-vapeur-cb11961611n), [Gravure par plasma](https://superlivre.fr/genre/gravure-par-plasma-cb121106412), [Microélectronique](https://superlivre.fr/genre/microelectronique-cb11940133x), [Projection au plasma](https://superlivre.fr/genre/projection-au-plasma-cb12128201v), [Pulvérisation cathodique -- Applications industrielles](https://superlivre.fr/genre/pulverisation-cathodique-applications-industrielles-cb12128197f)
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [SFV](https://superlivre.fr/editeur/sfv) | Paris | 280 |  |