# Cinétiques et mécanismes de dépôts de matériaux pour la microélectronique obtenus lors de l'interaction d'un faisceau laser avec une surface en présence d'un gaz

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/cinetiques-et-mecanismes-de-depots-de-materiaux-pour-la-microelectronique-obtenu-cb37618872k (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Didier Tonneau](https://superlivre.fr/auteur/didier-tonneau-cb124985291)
- **Première parution** : 1988
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1988–1988)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |