# Caractérisation et analyse de la gravure du polysilicium par le chlore avec le système plasma triode pour la réalisation de circuits à haut niveau d'intégration

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- **Auteur** : [Claude Artufel](https://superlivre.fr/auteur/claude-artufel-cb123056344)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |