# Caractérisation d'un plasma R.F. : influence des paramètres du plasma sur les dépôts de passivation du phosphure d'indium, InP

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- **Auteur** : [Aomar Ait-Saada](https://superlivre.fr/auteur/aomar-ait-saada-cb12302031q)
- **Première parution** : 1987
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1987–1987)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1987 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |