Caractérisation d'un plasma R.F.
influence des paramètres du plasma sur les dépôts de passivation du phosphure d'indium, InP
auteur :Aomar Ait-Saada
- Première parution
- 1987
- Éditeur
- ANRTGrenoble 2
- Pages
- —
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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