Caractérisation d'un plasma multipolaire microonde de SF dilué
corrélation entre flux d'espèces incidentes et cinétiques de gravure de silicium
auteur :Bouarfa Mahi
- Première parution
- 1986
- Éditeur
- ANRTGrenoble 2
- Pages
- —
- Éditions
- 1
- Langue
- Français
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