# Caractérisation d'oxynitrures de silicium par spectroscopie des électrons Auger associée à la pulvérisation ionique

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- **Auteur** : [Jean-Pierre Segaud](https://superlivre.fr/auteur/jean-pierre-segaud-cb121996307)
- **Première parution** : 1988
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1988–1988)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1988 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble |  |  |