# Caractérisation de couches minces d'oxydes déposées par pulvérisation cathodique radiofréquence magnétron

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- **Auteur** : [Philippe Caburet](https://superlivre.fr/auteur/philippe-caburet-cb12441842b)
- **Première parution** : 1989
- **Langue** : français
- **Éditions recensées** : 1 (1989–1989)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1989 | [ANRT](https://superlivre.fr/editeur/anrt) | Grenoble 2 |  |  |