# Analyse optique in situ de la phase gazeuse au cours du dépôt de carbure de silicium par décomposition thermique du mélange méthyltrichlorosilane-hydrogène

> Fiche œuvre du catalogue https://superlivre.fr/livre/analyse-optique-in-situ-de-la-phase-gazeuse-au-cours-du-depot-de-carbure-de-sili-cb36151166v (données du dépôt légal BnF).

- **Auteur** : [Nelly Dorval](https://superlivre.fr/auteur/nelly-dorval-cb12990261m)
- **Première parution** : 1994
- **Langue** : français
- **Genres** : [Carbure de silicium](https://superlivre.fr/genre/carbure-de-silicium-cb13163471b), [Dépôt chimique en phase vapeur](https://superlivre.fr/genre/depot-chimique-en-phase-vapeur-cb11961611n)
- **Éditions recensées** : 1 (1994–1994)

## Éditions

| Année | Éditeur | Ville | Pages | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1994 | [Office national d'études et de recherches aérospatiales (Impr. O.N.E.R.A.)](https://superlivre.fr/editeur/office-national-detudes-et-de-recherches-aerospatiales) | Châtillon | 202 |  |