Couverture de Analyse optique in situ de la phase gazeuse au cours du dépôt de carbure de silicium par décomposition thermique du mélange méthyltrichlorosilane-hydrogène

Analyse optique in situ de la phase gazeuse au cours du dépôt de carbure de silicium par décomposition thermique du mélange méthyltrichlorosilane-hydrogène

Sujets :Carbure de silicium · Dépôt chimique en phase vapeur

Première parution: 1994
Éditeur: Office national d'études et de recherches aérospatiales (Impr. O.N.E.R.A.)
Châtillon
Pages: 202
Éditions: 1
Langue: Français

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Édition

	Année	Éditeur	ISBN	Pages	Ville	Occasion	Notice
	1994	Office national d'études et de recherches aérospatiales (Impr. O.N.E.R.A.)	—	202	Châtillon	Vinted

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